2026年1月28日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称恒运昌，688785.SH）完成首次公开发行股票并在科创板上市，本次发行规模15.61亿元。

恒运昌的核心产品等离子体射频电源系统是半导体装备中最核心、研发难度最大、技术壁垒最高的零部件之一，其性能直接决定芯片刻蚀与薄膜沉积设备的工艺能力及产品良率，2024年国产化率不足12%。

恒运昌凭借十余年技术攻坚，成功打破海外垄断格局，其自主研发的产品性能已达到国际先进水平，已实现射频电源系统前道制程应用领域的全覆盖，并批量交付多家国产半导体装备龙头企业，为中芯国际、长江存储等晶圆厂提供原位替换及维修服务，在国产射频电源领域中市场份额位列第一。

环球律师事务所作为恒运昌科创板发行上市项目的券商律师，担任本项目保荐机构中信证券股份有限公司的专项法律顾问，就本项目提供了全面、专业的法律服务。环球律师事务所的项目团队成员包括叶长城、洪英、钟炜敏等。